技術(shù)指標(biāo)
● 真空度測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-5Pa ● 離子電流測(cè)量范圍: 9.999×10-1~1×10-7A ● 測(cè)量誤差: <10% ● 測(cè)量分辨率: 10-5pa ● 高壓輸出:脈沖30kV 15kHz ● 允許環(huán)境溫度: -20℃~50℃ ● 空氣濕度: ≤80%RH ● 電源: AC,220V,50Hz±10%